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二战时期，出于军事的需要，电液伺服阀首先出现在飞机的液压控制系统上。伺服阀的高成本、对流体介质清洁度的苛刻要求及维护的困难，使其成为电液伺服技术推广民用化的障碍。
伺服比例阀是比例技术和伺服技术结合的产物，早期出现的比例伺服阀，由于其关键的电一机转换器仍然是控制电流仅几十毫安的力电动机或力矩电动机，仍属于伺服阀的范畴，也称之为工业伺服阀。
电液伺服比例阀是一种性能和价格介于伺服阀和普通比例阀之间的控制阀，它具有传统比例阀的特征，采用比例电磁铁作为电机械转换器；同时，它又采用伺服阀的加工工艺、零遮盖阀口，其阀心与阀套之间的配合精度与伺服阀相当，无零位死区，频率响应比一般比例阀高，而可靠性高于一般伺服阀。电液比例伺服方向阀对油液的清洁度要求低于电液伺服阀，而它的控制性能已与普通电液伺服阀相当，特别适用于各种工业领域的闭环控制系统。值得指出的是，电液伺服比例阀还有一个普通伺服阀不易实现的附加特性。当阀的电源失效，电磁铁失电时，由于弹簧的作用，能使阀心处于一个确定的位置，从而使其4个通口具有固定的通断形式。
随着伺服比例技术的不断发展和创新，以及和电子、计算机技术的紧密结合，伺服比例阀已可以和伺服阀相媲美，同时由于其具有传统比例阀可靠、耐用、使用维护成本低的优点，必将使伺服技术在工业领域的广泛使用成为现实，也将绐用户带来明显的经济效益。
